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10月12日，第二十六届我国国际工业博览会（简称“工博会”）在国家会展中心（上海）正式启幕。本届工博会初次树立集成电路展（国芯展），以“芯链工业，强芯筑基”为主题。
跟着先进制程的不断演进、特征工艺的不停地改善改造，半导体工业对高端配备及专业服务的需求一日千里、日积月累。继续环绕出产主设备着力打造隶属配备和零部件渠道化解决方案，本次正式对外发布的六大布局产品线，以“六方神兽”命名，连续东方意蕴与科学技术创新相结合的品牌表达。
副总经理张鹏介绍，凤凰·工艺抛弃净化处理设备（Local Scrubber）适用等离子加水洗或电加热加水洗多种工艺路途，针对不同制程副产物高效净化废气，向净而生。大鹏·干式真空泵选用多级罗茨与多级爪式结构，具有低能耗、小型化，可快速树立安稳真空环境。重明·温控设备（Chiller）选用双变频多通道规划，低能耗、宽温域特色有力看护工艺热稳态。
青鸾·集成式真空与废气处理体系（SJPS一体机）将真空泵与废气处理集成于一致机柜，可节约30%以上洁净室占地，完成端到端一体化管控。金乌·磁悬浮涡轮分子泵选用主动磁悬浮轴承、无触摸十分快速地旋转规划，具有大抽速、高压缩比，洁净无油等优势，可适配苛刻制程。羽嘉·低温泵可通过低温冷凝吸附获取超高真空，长保护周期合作自研PLC主动再生，适配苛刻高真空工艺。
“以东方神鸟命名六大产品线，是问候我国智造，也诠释了公司攻坚克难的‘芯’路进程。”盛剑科技董事长张伟明在发布会致辞中表明，盛剑将继续把研制投入投向真空、温控、工艺抛弃净化处理与电子资料的最前沿，让“我国配备”更牢靠，让“我国资料”更安稳，让每一座我国芯片工厂的绿色出产线上，都有盛剑的一份力气。
张伟明表明，盛剑科技扎根上海二十一年，一直沿着“职业延伸+产品延伸”的路途，从工艺废气管理起步，逐渐构建起绿色厂务体系、隶属配备与中心零部件、化学品资料协同开展的事务格式。