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滑阀泵因为其结构特色，容量比旋片真空泵大得多，因而常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级滑阀泵和双级滑阀泵两种型式。单级泵的极限线Pa(均关气镇)，双级泵的极限线Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多选用单级型式。这种泵可独自运用，也可作其它泵的前级泵用。
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